厚さ測定機能を付加した空間電荷分布測定装置

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-051

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Space Charge Distribution and Thickness Measurement PEA System in Dielectric Materials

著者名: 布野 竜二(松江工業高等専門学校),福間 眞澄(松江工業高等専門学校),長尾 雅行(豊橋技術科学大学),村上 義信(豊橋技術科学大学),穂積 直(愛知工業大学)

著者名(英語): Ryuji Funo(Matsue College of Technology),Masumi Fukuma(Matsue College of Technology),Masayuki Nagao(Toyohashi University of Technology),Yoshinobu Murakami(Toyohashi University of Technology),Naohiro Hodumi(Aichi University of Technology)

キーワード: 空間電荷|音響インピーダンス|パルス静電応力法|厚さ測定

要約(日本語): 空間電荷分布測定技術の一つであるパルス静電応力（PEA）法は電気電子機器の絶縁材料等の性能・信頼性評価に広く利用されている。誘電体材料の空間電荷分布を測定する場合には，通常測定電極と試料の音響的コンタクトを得るために荷重を加える。軟らかい試料では測定時に加える電極からの荷重によって変形する。PEA 法を用いた空間電荷分布測定装置に音響インピーダンス顕微鏡の機能を付加することで空間電荷分布と試料厚さを同時に測定する方法について検討したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,285 Kバイト