パルスレーザ堆積法によるｎ型DLC太陽電池作成に及ぼす雰囲気圧の依存性について

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-063

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Influence Dependant of Atmosphere Pressure on Characteristics by Pulsed Laser Deposition Method for Phosphorus Doped Diamond Like Carbon Transparency Photovoltaic Cell

著者名: 高山 健 (日本大学),鈴木 薫 (日本大学)

キーワード: 太陽電池|炭素|ダイアモンド|薄膜

要約(日本語): 近年、太陽光の波長を効率良く吸収するために吸収波長が違う太陽電池を重ねるタンデム方式が主流になっている。我々はダイアモンドの持つ広いバンドギャップ(5.46eV)に注目し、カーボン(C)の非晶質であるDLC (Diamond Like Carbon)に不純物をドープさせ、紫外光を吸収する透明太陽電池薄膜作製を目標にパルスレーザ堆積法を用いて成膜させている。過去の著者等の研究においては不純物にボロン(B)を用いたｐ型DLC薄膜(p-DLC:B)(1)に対して、現在はリン(P)を不純物としてn型DLC薄膜(n-DLC:P)の短絡電流値の上昇を目標に、成膜中に窒素プラズマ・水素プラズマを成膜中に支援することで短絡電流値を0.24[μA/cm2]まで上昇をさせた。本稿では、開放電圧値の増大を目標に、プラズマ支援を行わない時の水素還元の効果について検討した結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 672 Kバイト