レーザ支援気固界面熱分解法によるカーボンナノチューブの生成と方向制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-098

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Controlling of Formation and Direction with Carbon Nanotube by Laser Assisted Thermal Decomposition on Gas/Solid Interface

著者名: 細井英昭 (日本大学),岩戸裕亮 (日本大学),鈴木 薫 (日本大学)

要約(日本語): カーボンナノチューブ（carbon nanotube : CNT）は優れた導電率を有しており、次世代配線材料として集積回路（LSI）などの電子デバイスへの応用が期待されている。(1)応用を目指した場合にはCNTの成長に対する場所や成長速度及び方向を制御する必要がある。本稿では半導体レーザを用いることによりCNTの成長を制御することを目的とし、気化したエタノールを固体のシリコン基板を通電させることによって発生したジュール熱で分解してCNTを成長させる、気固界面熱分解法を用い、同時にレーザを照射したときのCNT生成に対する依存性について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 805 Kバイト