固液界面熱分解法によるSOI基板上への針状炭素対の生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-099

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Synthesis of Needle Shape Carbon Pair by Solid/Liquid Interface Thermal Decomposition on Silicon on Insulator Substrate

著者名: 三浦 大輔(日本大学),岩戸 裕亮(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Daisuke Miura(Nihon University),Hiroaki Iwato(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)

キーワード: カーボンナノファイバー|針状炭素対|SOI|炭素材料

要約(日本語): カーボンナノチューブ(CNT)やカーボンナノファイバー(CNF)は,有意な電気的・物理的・機械的性質を持ち,様々な産業応用が考えられるため次世代の機能性材料として注目を集めている.過去の研究において,エタノールを炭素供給源として用いた熱分解法によりSi基板上において,対向成長し先端の尖った針状炭素(NSC)の先端間に直径数十nmのCNFのワイヤリングが生成されることを見出した. よって我々は,この対向成長した針状炭素対間のCNFワイヤリングを電子デバイスに応用しようと考えている.そこで,従来のSi基板ではなくSilicon on Insulator(SOI)基板に着目した.本稿においてはSOI基板上に生成されるワイヤリングの生成条件について実験的に検討を行った結果を報告する.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 869 Kバイト