SmFe薄膜による微圧センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-102

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Development of high sensitivity sensor with SmFe thin film

著者名: 竹内 俊之(信州大学),伊藤 直樹(信州大学),近藤 尚弥(信州大学),田代 晋久(信州大学),脇若 弘之(信州大学),清宮照夫 (FDK),牧村 美加(長野県工業技術総合センター)

著者名(英語): Toshiyuki Takeuchi(Shinshu University),Naoki Itoh(Shinshu University),Naoya Kondoh(Shinshu University),Kunihisa Tashiro(Shinshu University),Hiroyuki Wakiwaka(Shinshu University),KiyomiyaTeruo (FDK Co.Ltd),Makimura Mika(Nagano Prefevture General Industrial Technology)

キーワード: SmFe薄膜|負磁歪|超磁歪材料

要約(日本語): 磁性材料には応力を印加すると磁気特性が変化する逆磁歪という現象がある。この現象を利用することによりインダクタンスLを変化させる事ができる。本研究ではSmFeを用いてセンサチップを作り，発振回路と組み合わせた微圧センサの開発を行っている。今回，センサチップに圧力を印加したときの出力の共振周波数f0の変化を測定したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 870 Kバイト