Nd-Fe-B薄膜の保磁力に及ぼす酸化状態とCu層の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-138

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Influences of Oxidation and Cu layer deposition on Coercivity of Nd-Fe-B Thin Films

著者名: 松浦 昌志(東北大学),深田東吾 (東北大学),後藤龍太 (東北大学),手束展規 (東北大学),杉本 諭(東北大学)

著者名(英語): Masashi Matsuura(Tohoku University),Togo Fukada(Tohoku University),Ryota Goto(Tohoku University),Nobuki Tezuka(Tohoku University),Satoshi Sugimoto(Tohoku University)

キーワード: Nd-Fe-B薄膜|保磁力|Cu|酸化|超高真空マグネトロンスパッタ

要約(日本語): Nd-Fe-B系焼結磁石の保磁力は，Nd2Fe14B相とNd-rich相界面に存在する酸化相に影響されることが報告されている．一方で，保磁力を増加させる添加元素としてCuが知られている．本研究では，スパッタリング法を用いてNd2Fe14B/Nd(-O, Cu)擬似界面を作製し，Nd-Oの酸化状態を変化させたときの保磁力変化ならびにCu添加に伴う保磁力変化を調査した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,086 Kバイト