PLD法を用い作製したNd-Fe-B系等方性磁石膜の磁気特性と微細構造

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-140

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Magnetic Properties and Microstructure of Isotropic Nd-Fe-B Film Magnets Prepared by PLD Method

著者名: 寺田 皓祐(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学),板倉 賢(九州大学),山下 文敏(ミネベア)

著者名(英語): Kousuke Terada(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University),Masaru Itakura(Kyushu University),Fumitoshi Yamashita(Minebea Co.)

キーワード: 磁石膜|PLD法

要約(日本語): これまで筆者らは、数10 μm/h程度の高速成膜を有するPLD法（Pulsed Laser Deposition法）を用い、厚さ数10 μm以上のNd-Fe-B系等方性磁石膜を作製すると共に、数種類の電子デバイスへの応用を展開してきた。加えて最近では、その磁石膜にNb、Zr,、Ga等の元素を添加し、極短時間熱処理であるパルス熱処理を施すことにより、保磁力が向上することを明らかにした。これまで、Nd-Fe-B系バルク磁石に添加されたNb、Zr,、Ga元素の働きが「結晶粒の微細化」である結果が報告されているものの、本磁石膜における添加物の働きは明らかになっておらず、更なる磁気特性の向上を目指す上で検討する必要がある。本稿では、Nd含有量の異なる磁石膜において各添加物が磁気特性に及ぼす影響を調べると共に、微細構造観察を通じての添加物の働きについて考察したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 966 Kバイト