インクジェット方式を利用した塗布の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-016

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): A Basic Study of Coating by Appling Ink-Jet Method

著者名: 樋口 貴大(福岡工業大学),福本 誠(福岡工業大学),松尾 一壽(福岡工業大学)

著者名(英語): Takahiro Higuchi(Fukuoka Institute of Technology),Makoto Fukumoto(Fukuoka Institute of Technology),Kazuhisa Matsuo(Fukuoka Institute of Technology)

キーワード: インクジェット

要約(日本語): 現在，レジストの塗布方法としてスピンコータが一般的に利用されているが、これは，被塗布物の高速回転を必要とする。これは材料の使用効率の問題等を含んでいる。従って、新たな塗布方法の技術が望まれている。我々は，インクジェット方式がレジスト塗布法として有効であることを念頭に置いた検討を行っている。なお、この方法は被塗布物の回転を必要としない。現在までに、塗布膜の膜厚や材料の使用効率などについて被塗布物の狭面積に対しては有効な塗布法であることを確認した。本稿では、インクジェットのノズル走査速度やレジスト静圧などを変化させた場合の諸特性について検討を加えた。得られた結果から、インクジェット方式を利用した塗布装置としての可能性を伺うことができたものと推測している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 549 Kバイト