バイオセンサ搭載用ナノフローポンプの試作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-112

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Study of Nanoflow Pump for Biosensing Chip

著者名: 石野祥太郎 (広島大学),坂本憲児 (広島大学),三宅 亮 (広島大学),宮原裕二 (物質,材料研究機構)

キーワード: ナノフローポンプ|電気浸透流|マイクロチップ|バイオセンサ|PDMS

要約(日本語): 近年、バイオセンサの研究が盛んに進められており、ワンチップで全ての解析が可能なデバイスが注目されている。しかしながら実現には、センサ部に極微量(数nl)な薬液を送液できるシステムが必要である。本研究ではバイオセンサと送液ポンプを一体化して構成、バイオセンサの量産化プロセスとの整合性に配慮したナノフローポンプを開発することを目標としている。ポンプ駆動方式には低電圧駆動が可能な電気浸透流の原理を用い、一体化形成のためにCMOSプロセスに適した材料・構造について検討し、試作ポンプを作製した。試作ポンプを駆動した結果、3mm間隔の電極間に5Vの電圧を印加したところ流動を確認することができ、またnlオーダーの流量を制御できることも分かった。今後は流路中央部にセンサを作り込む予定であり、センサとポンプを一体化した構造やモノリシック形成に適したプロセスについて検討を行っている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 887 Kバイト