ムービングマグネット式2軸駆動MEMSミラー

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-124

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Moving magnet type 2-axis MEMS mirror

著者名: 青柳 勲 (豊田中央研究所),島岡敬一 (豊田中央研究所),加藤 覚 (豊田中央研究所),牧志 渉 (東北大学),川合祐輔 (東北大学),田中秀治 (東北大学),小野崇人 (東北大学),江刺正喜 (東北大学)

キーワード: MEMSミラー|電磁駆動|永久磁石|シリコン|2軸駆動|スキャナー

要約(日本語): 近年、レーザ光を操作するレーザスキャニングデバイスがプロジェクタ、レーザレーダ等に適用されている。レーザ光スキャン部品として2軸のMEMSスキャナの開発が行われている。我々は、上記アプリケーションを視野に入れ、車載に適した駆動方式と考えるムービングマグネット式のMEMSミラーを試作した。その結果、レーザの2軸スキャンは実施できたが、ミラーの共振周波数は設計値よりも小さかった。原因として、可動フレームが歪むことによる影響が考えられる。今後、特性改善を行っていく。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,664 Kバイト