近赤外分光用ラミナー型グレーティングの試作と電磁力による可動化の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-125

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Fabrication of Near Infrared Laminar Grating and Investigation for its Actuation with Electromagnetic Force

著者名: 渡部 善幸(山形県工業技術センター),阿部 泰(山形県工業技術センター),矢作 徹(山形県工業技術センター),岩松 新之輔(山形県工業技術センター),小林 誠也(山形県工業技術センター),今野 俊介(山形県工業技術センター),高橋 義行(山形県工業技術センター),佐藤 敏幸(山形県工業技術センター)

著者名(英語): Yoshiyuki Watanabe(Yamagata Research Institute of Technology),Yutaka Abe(Yamagata Research Institute of Technology),Toru Yahagi(Yamagata Research Institute of Technology),Shinnosuke Iwamatsu(Yamagata Research Institute of Technology),Seiya Kobayashi(Yamagata Research Institute of Technology),Shunsuke Konno(Yamagata Research Institute of Technology),Yoshiyuki Takahashi(Yamagata Research Institute of Technology),Toshiyuki Sato(Yamagata Research Institute of Technology)

キーワード: 近赤外分光|可動グレーティング|電磁駆動|低コヒーレント光干渉|MEMS|UVレジストのEB露光

要約(日本語): フーリエドメイン型低コヒーレント光干渉計測システムにおける近赤外分光用グレーティング（GR）の形成法と、電磁力による可動化について検討した。UVレジストのEB露光を検討した結果、ライン幅0.25μm、ピッチ0.6μmまでパタン形成可能であり、同リソグラフィーを用いて作製したラミナー型GRによる回折角は理論値と±1°以下で一致していた。また、作製した電磁駆動型MEMS-GRの静的および動的傾斜角を評価したところ、波長帯域1500-1600nmの近赤外分光に必要な傾斜角が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,789 Kバイト