圧電型MEMSキャパシタの繰返し駆動における機械的信頼性の解析と評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-130

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): A Study on Mechanical Reliability of Piezoelectric MEMS Capacitor

著者名: 大野 浩志(東芝),西垣 亨彦(東芝),長野 利彦(東芝),板谷 和彦(東芝),川久保 隆リサーチ(東芝リサーチ,コンサルティング)

著者名(英語): Hiroshi Ono(Toshiba Corporation),Michihiko Nishigaki(Toshiba Corporation),Toshihiko Nagano(Toshiba Corporation),Kazuhiko Itaya(Toshiba Corporation),Takashi Kawakubo(Toshiba Research Consulting Corporation)

キーワード: 圧電型MEMSキャパシタ|機械的信頼性|繰返し駆動

要約(日本語): MEMSキャパシタは，低損失・高線形性等の特長を持ち，高周波分野での広い応用が期待されている。しかし，アクチュエータが機械的に動作することから，繰返し駆動に対し，アクチュエータの塑性変形や接触部の磨耗等の機械劣化が生じ，MEMSキャパシタの電気特性が変化する可能性がある。そこで，圧電型MEMSキャパシタの繰返し駆動によるアクチュエータの機械劣化を，解析と試作デバイスの電気特性より評価した。その結果，10⁶回の範囲ではデバイス動作上問題となるほどの機械劣化は生じないことが示唆された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 935 Kバイト