マイクロカンチレバーの機械特性におけるプラズマ照射損傷の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-131

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): The effect of plasma irradiation damage on the mechanical characteristics of micro cantilever

著者名: 戸村 幕樹(東北大学),黄 啓賢(東北大学),吉田 祐介(東北大学),小野 崇人(東北大学),寒川 誠二(東北大学)

著者名(英語): Maju Tomura(Institute of Fluid Science,Tohoku University),Chi-Hsien Huang(Institute of Fluid Science,Tohoku University),Yusuke Yoshida(Institute of Fluid Science,Tohoku University),Takahito Ono(Institute of Fluid Science,Tohoku University),Seiji Samukawa(Institute of Fluid Science,Tohoku University)

キーワード: MEMS|カンチレバー|中性粒子ビーム|プラズマ

要約(日本語): 従来より、LSIにおけるプラズマ照射損傷が重要な問題になってきており、荷電粒子や紫外線の照射がデバイス特性の劣化を引き起こしてきた。近年、MEMSにおいても微細化が進行し、プラズマ照射による欠陥生成が機械的特性に及ぼす事が少なくないことが予想される。そこで我々は、マイクロファブリケーションにより作製したマイクロカンチレバーに対してプラズマを照射し、プラズマ照射後での機械的特性の劣化を確認することにより、MEMSにおいても低損傷プロセスが極めて重要であることを示した。この成果により、新たなマイクロファブリケーションプロセスの実現に寄与する事が期待される。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 791 Kバイト