PZT薄膜を用いた誘電ボロメータ型赤外線センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-134

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Dielectric-Bolometer-Based Infrared Sensor Using PZT Thin film

著者名: 植田 浩二(兵庫県立大学),才木 常正(兵庫県立工業技術センター),神田 健介(科学技術振興機構),伊賀 友樹(科学技術振興機構),樋口 行平(科学技術振興機構),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Koji Ueda(Hyogo of University),Tunemasa Saiki(Hyogo Prefectural Institute of Technology),Kensuke Kanda(Japan Science and Technology Agency),Yuki Iga(Japan Science and Technology Agency),Kohei Higuchi(Japan Science and Technology Agency),Takayuki Fujita(Hyogo of University),Kazusuke Maenaka(Hyogo of University)

キーワード: ボロメータ|PZT

要約(日本語): 近年、健康管理や予防医療において、日常的なバイタルサインを総合的にモニタリングするために、様々な物理量を測定することが可能な微小センサが注目されている。このような微小一体型センサを実現するために、著者らは同一基板上に同一のプロセスで多種類のセンサを作製することを目指している。その一例として、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)薄膜を用いた加速度センサを作製している。本研究では、加速度センサと同一基板上に体温計測用の誘電ボロメータ型赤外線センサを作製することを目的とし、PZT材料のボロメータとしての初期評価を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 896 Kバイト