メソポーラスシリカ薄膜を利用した局在表面プラズモン共鳴（LSPR）による揮発性有機化合物（VOC）応答特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-157

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Localized Surface Plasmon Resonance study on the Near Infrared Transmittance sensing properties of Mesoporus Silica Thin Film to Volatile Organic Compounds

著者名: 秋山 恭子(東京都立産業技術研究センター),紋川 亮(東京都立産業技術研究センター),加沢 エリト(東京都立産業技術研究センター)

著者名(英語): Kyoko Akiyama(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Akira Monkawa(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Elito Kazawa(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)

キーワード: ＶＯＣ|ＬＳＰＲ|メソポーラスシリカ

要約(日本語): 塗装、印刷、洗浄等の様々な分野の工場・施設において大量に使用されている有機溶剤の多くは、光化学スモッグの原因となる揮発性有機物（VOC）を多量に含んでいる。本研究では、汚染防止のため大風量対応VOC処理装置の開発を目指している。この装置にはVOCセンサーが不可欠であるが、10?1000ppmを測定できるセンサーが市場にない。そこで、接触燃焼式や酸化物半導体といった従来方式と異なるVOCセンサーの開発が必要になり、局在表面プラズモン共鳴（LSPR）とメソポーラスシリカを複合させたセンサーを検討した。今回その知見が得られたので報告する。

原稿種別: 日本語

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