ダイオードヒータを用いた高速応答真空パッドの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-160

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Study on the high speed response vacuum pad with a diode heater

著者名: 木村 光照(東北学院大学),澤口 航(東北学院大学)

著者名(英語): Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University),Wataru Sawaguti(Tohoku Gakuin University)

キーワード: ダイオードサーミスタ|温度センサ|MEMS|カンチレバ|真空パッド

要約(日本語): 従来、物体を固定したり搬送したりするのに真空チャックや真空バッドを用いていた。これらは、物体を真空吸引または周囲圧力に対して負圧にして吸盤で捕らえ搬送するもので、物体を確実に捕らえているかどうかを知る必要があった。従来高速応答が望まれていたが、長いチューブでの空気抵抗による時間遅れが生じることが主原因で高速応答ができないという問題があった。本研究では、気流の変動を高速かつ高精度に捕らえ、電気信号に変換する超小型のセンサあり、pn接合ダイオードを絶対温度センサであるサーミスタとして動作させるダイオードサーミスタを、マイクロヒ一夕としても利用する熱型センサを開発し、高速に気流変化を検出して電気信号に変えて、真空パッドなどに適用させる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 875 Kバイト