強磁性体薄膜カンチレバを用いた共振型磁気センサの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-161

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Study on the Resonance type Magnetic Sensor Using a Ferromagnetic Thin Film-Cantilever

著者名: 木村 光照(東北学院大学),千葉 久統(東北学院大学)

著者名(英語): Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University ),Hisato Chiba(Tohoku Gakuin University )

キーワード: 磁気センサ|強磁性体|カンチレバ|共振周波数|MEMS

要約(日本語): 強磁性体薄膜をカンチレバの振動板とした共振型磁気センサで、共振周波数および振動振幅が外部被検出磁場により変化し、この変化から磁場を検出するようにする磁気センサを提案してきたが、ここでは、強磁性体薄膜間の空隙依存と、対と成る強磁性体薄膜が無い場合の特性と動作原理との関係を検討したので、報告する。以下、実験結果および今後の課題。共振しているカンチレバに外部磁場を加えると、共振周波数が高い方へシフトし、空隙長を狭くすることでシフトが大きくなることが確認できた。今後、Siで磁気センサを作製し、ＰＺＴ圧電膜を利用してカンチレバを自励振動させ、外部磁場による共振周波数の変化から外部磁場を検出する予定である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 884 Kバイト