微細加工FBGによるひずみ測定精度の向上

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-162

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Improvement in measurement accuracy of the strain gauge consists of micromachined Fiber Bragg Grating

著者名: 平松 宗大(岐阜工業高等専門学校),梅田 晶央(岐阜工業高等専門学校),小栗 久和(岐阜工業高等専門学校),稲葉 成基(岐阜工業高等専門学校),熊崎 裕教(岐阜工業高等専門学校),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Munehiro Hiramatsu(Gifu National College of Technology),Akio Umeda(Gifu National College of Technology),Hisakazu Oguri(Gifu National College of Technology),Seiki Inaba(Gifu National College of Technology),Hironori Kumazaki(Gifu National College of Technology),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: 光ファイバ|ひずみセンサ|ブラッググレーティング|反射中心波長

要約(日本語): 前回、試験片（断面形状が一定の圧延鋼材）表面の三方向（0°,45°, 90°）に設置したFBG (Fiber Bragg Grating)を、構造物のひずみ測定用センサとして評価した。主ひずみの方向および大きさを認識できることが示されたが、測定精度は温度一定の状態においても10με程度であり、一般的なひずみゲージより1桁程度劣る結果となった。そこで、グレーティング領域の一部を反応性イオンエッチングによって細径加工し、測定精度の向上を図った。細径加工部における反射中心波長の変化量は、未加工部の約39倍であった。この値はほぼ両者の断面の面積比に等しく、細径加工によってほぼ理論通りに測定精度を向上できることが示された。

原稿種別: 日本語

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