ＭＥＭＳマイクロミラーによる静電気分布測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-163

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): MEMS Micro-mirror array for Electrostatic Distribution Measurement

著者名: 栗山 敏秀(近畿大学),青井 利一(近畿大学),前田 裕司(和歌山工業技術センター),伊東隆喜 (和歌山工業技術センター),上野 吉史(和歌山工業技術センター),中家 利幸(阪和電子工業),松井 信近(阪和電子工業),奥村 浩行(阪和電子工業)

著者名(英語): Toshihide Kuriyama(Kinki University),Toshikazu Aoi(Kinki University),Hiroshi Maeda(Industrial Technology Center of Wakayama Prefecture),Takaki Itoh(Industrial Technology Center of Wakayama Prefecture),Yoshifumi Ueno(Industrial Technology Center of Wakayama Prefecture),Toshiyuki Nakaie(Hanwa Electronic Ind. Co.,Ltd.),Nobutika Matsui(Hanwa Electronic Ind. Co.,Ltd.),Hiroyuki Okumura(Hanwa Electronic Ind. Co.,Ltd.)

キーワード: 静電気測定|ＭＥＭＳ|マイクロミラー

要約(日本語): 電子機器を構成するＬＳＩは、高集積化や低電圧化のため静電気放電に対する耐性が低くなっている。ここでは、ＬＳＩの製造工程、あるいは、使用時に静電気破壊を起こす周辺物体の静電気分布を非接触で測定することができる静電気分布測定システムを開発した。トーションバー構造を持つＭＥＭＳミラーアレイを用いて、その静電気によるミラーの回転角度を２次元スキャナーを使用する光学系により測定することにより、ミラーアレイの近傍にある帯電物体の電圧分布を測定できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,988 Kバイト