質量検出盤付ディスク型ＭＥＭＳ振動子とその微小質量検出特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-166

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): A Disk-Type Resonator with Mass Sensing Platform and it’s Micro Mass Detectability

著者名: 昆野舜夫 (産業技術総合研究所),池原 毅(産業技術総合研究所),前田 龍太郎(産業技術総合研究所),木村 睦(信州大学),布川 正史(信州大学),三原 孝士(オリンパス)

著者名(英語): Mitsuo Konno(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)),Tsuyoshi Ikehara(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)),Ryutaro Maeda(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)),Mutsumi Kimura(Sinshu University),Tadashi Fukawa(Sinshu University),Takashi Mihara(Olympus Corporation)

キーワード: ディスク型振動子|MEMS発振器|質量検出盤|微小質量|ガス分子吸着

要約(日本語): ディスク型振動子は、振動エネルギが大きく、面内振動のため空気中で使用しても高いQ（Quality Factor）値が得られるなどの優れた特性を有している。このディスク型振動子の高性能化を目指して穴あき振動子の開発を行っているが、この振動子をそのまま質量検出器として用いると質量の付着場所によって検出感度が異なる不都合がある。この問題を解決し、高感度化にも貢献する穴あき振動子の穴に質量検出盤を設けた独自のディスク型振動子を提案すると共に、この質量検出盤付振動子を用いたＭＥＭＳ発振器(3)を開発し、微小質量検出器としての優れた特性を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 937 Kバイト