ドライエッチングで作製したコンベックス形状の高周波水晶振動子

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-167

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): High-frequency convex-shape quartz crystal resonators fabricated by dry etching

著者名: 板坂 洋佑(東北大学),安部 隆(東北大学)

著者名(英語): Yousuke Itasaka(Tohoku University),Takashi Abe(Tohoku University)

キーワード: 水晶振動子|反応性イオンエッチング|センサ|周波数制御素子|立体加工

要約(日本語): 二重マスク法とドライエッチング法を組み合わせたコンベックス形状を有する逆メサ型水晶振動子の新しい作製法を考案し，その効果を実証した．本法は一括で振動子を加工することができ作製した振動子はコンベックス形状を形成していない場合の水晶振動子と比較し，一桁以上も振動特性が改善されることを見出した．本方法を用いればより高感度で小型の水晶振動子微小天秤センサが実現できると期待される．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 743 Kバイト