応力印加電極を設けた周波数可変超音波マイクロセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-168

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Frequency-Tunable Ultrasonic Microsensors with Stress-Applying Electrode

著者名: 山下 馨(京都工芸繊維大学),藤井 康信(京都工芸繊維大学),良川 慧太(京都工芸繊維大学),冨山 賢司(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Yasunobu Fujii(Kyoto Institute of Technology),Keita Yoshikawa(Kyoto Institute of Technology),Kenji Tomiyama(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ|共振周波数|チューニング|圧電体

要約(日本語): シリコンマイクロマシニングにより作製した薄いダイアフラム構造上にPZTキャパシタを形成して超音波マイクロセンサを構成した。キャパシタの上部電極を内側電極と外側電極に分割し、内側電極から超音波信号を出力し、外側電極に電圧を印加して逆圧電効果による面内応力でセンサの共振周波数を可変にできる構造とした。外側電極の面積増大によりダイアフラム内での発生力を増加させられると考えられるため、外側電極の面積を変えたセンサを作製して共振周波数変化幅の依存性を調べた。ダイアフラム面積に対して外側電極面積を約65%?94%とした種々のセンサを作り、直流電圧8V印加時の共振周波数変化幅を調べたところ、電極面積増大に伴い周波数変化幅を約17%増加させることができた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,155 Kバイト