NiCrゲージ薄膜を用いたエラストマ埋込型触覚センサの出力ドリフト低減と高感度化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-169

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Reduction of Output Drift and Sensitivity Improvement of NiCr-Thin-Film-Gauge Tactile Sensor Embedded in Elastomer

著者名: 寒川 雅之(大阪大学),植松 達也(大阪大学),橘 弘人(大阪大学),美馬 達也(大阪大学),金島 岳(大阪大学),奥山 雅則(大阪大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学),野間 春生(国際電気通信基礎技術研究所)

著者名(英語): Masayuki Sohgawa(Osaka University),Tatsuya Uematsu(Osaka University),Hiroto Tachibana(Osaka University),Tatsuya Mima(Osaka University),Takeshi Kanashima(Osaka University),Masanori Okuyama(Osaka University),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology),Haruo Noma(ATR)

キーワード: 触覚センサ|エラストマ|NiCr薄膜|ひずみゲージ|抵抗温度係数

要約(日本語): 我々は圧力と剪断力を同時検出できるロボット用のエラストマ埋込型多軸触覚センサを開発している。従来のセンサでは素子の自己発熱による抵抗値のドリフトが問題となっており、前回圧力検知層にp-Siピエゾ抵抗に代わり抵抗温度係数(TCR)の小さいNiCr(8:2)ゲージ薄膜により感度に対するドリフトを低減できることを示した。しかし、1cm2の指で100gの物体を把持する場合、10kPa程度の検知が必要であるが、それ以上のドリフトが生じていた。今回スパッタリング製膜時のターゲットNi/Cr比を適正化することによりドリフトの改善を行った。TCRをほぼ0となる条件で製膜したNiCr薄膜を用いたセンサにより、ドリフトを10kPaと同程度のオーダーにまで低減できた。

原稿種別: 日本語

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