プラズマ生成用高周波インバータに関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-037

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): a study of the high frequency inverter for plasma generation

著者名: 田中 泰志(神戸大学),松尾 浩之(神戸大学),米森 秀登(神戸大学),八坂 保能(神戸大学)

著者名(英語): Tanaka Yasushi(Kobe University),Matsuo Hiroyuki(Kobe University),Yonemori Hideto(Kobe University),Yasaka Yasuyosi(Kobe University)

要約(日本語): プラズマ生成用電源に代表されるMHz 帯域の電源システムは、半導体素子の発展による高効率・小型化への期待が高まってきている。しかし、高周波インバータのMHz 帯域への適用には、損失の増加やノイズといった課題も多い。本報告では、損失の低減を目的とした主回路方式としてZCS 型高周波インバータ回路を提案し、実験結果によりその有効性を確認したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 987 Kバイト