真空バルブモータの位置決め(その2)

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-207

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Positioning of Gate Valve for Vacuum Use (II)

著者名: 今井 悠介(東京農工大学),関 貴志(東京農工大学),中村 幸紀(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Yusuke Imai(Tokyo University of Agriculture and Technology),Takashi Seki(Tokyo University of Agriculture and Technology),Yukinori Nakamura(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

要約(日本語): 真空バルブモータの位置決めに関する研究である．同バルブは真空チャンバー内で使われる．同チャンバー内には弁が付いていて，試料を入れ替える際に弁によって高真空と低真空を切り替える．従来はチャンバー内にモータが入り込んでいるが，コンタミの問題が生じる．そこで発塵を低減してダストの飛散を抑制できるよう，モータを外部に置き，機械的接触のほとんどない新たなモータを考えた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,642 Kバイト