オージェ電子分析装置を用いた電界電子放出点の表面分析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-048

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Surface analysis of field electron emission site with Auger electron spectrometer

著者名: 金井 友洋(埼玉大学),山納 康(埼玉大学),小林 信一(埼玉大学),齊藤 芳男(高エネルギー加速器研究機構)

著者名(英語): Tomohiro Kanai(Saitama University),Yasushi Yamano(Saitama University),Shinichi Kobayashi(Saitama University),Yoshio Saito(High Energy Accelerator Research Organization)

キーワード: 真空中放電|電界電子放出|無酸素銅

要約(日本語): 真空中絶縁破壊の原因の1つである電界電子放出は電極表面上の微小突起や異物が原因で発生することが確認されている。本研究ではオージェ電子分析装置を用いた電界電子放出点の表面分析を行うことで、電子放出点となる異物の材質を特定することを目的とした。試料電極として平板状無酸素銅電極を使用した。まず、電流コンディショニング前後でのF-Nプロット及び電界電子放出電流分布の測定、EEMを用いた電界電子放出点の観測を行った。その後、電流コンディショニング後も除去されない電子放出点について表面分析を行った。その結果、電界電子放出の原因となる異物としてCやOが考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,910 Kバイト