Ne-Ar混合小口径グロー放電陽光柱の特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-057

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Characteristics of Small-Bore Glow Discharge Positive Columns of Ne-Ar Gas Mixtures

著者名: 佐々木典彦 (仙台高専名取キャンパス),野角光治 (仙台高専名取キャンパス),Saputra Edes (仙台高専名取キャンパス),内田 裕 (東芝)

キーワード: Ne-Ar混合気体|直流グロー放電|プラズマパラメータの混合比依存性

要約(日本語): 小口径（5mmΦ）放電管内でNe-Ar混合系の直流グロー放電を発生させ、圧力、混合比を変えながらプラズマパラメータのそれらに対する依存性を調べている。測定圧力範囲は0.2～30Torr、Ar混合比は、0,0.1,1,10,100％、放電電流は10mA一定とした。純Arの場合、電子温度の圧力依存性は殆ど目立たないが、純Neの場合は1Torr以下で大きく変化する。Arの添加に伴う純Neの特性から純Arの特性への接近の様子を明らかにしている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 819 Kバイト