高E/n放電空間中での陰極付近のイオンエネルギー分布測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-075

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Measurement of Ion Energy Distribution at the Cathode under High E/n Electric Discharge

著者名: 平沼 史弥(東京都市大学),岩尾 徹(東京都市大学),湯本 雅恵(東京都市大学)

著者名(英語): Fumiya Hiranuma(Tokyo City University),Toru Iwao(Tokyo City University),Motoshige Yumoto(Tokyo City University)

キーワード: 高<l>E/n</l>放電|イオンエネルギー分布|窒素イオン

要約(日本語): 高分子材料であるPTFE（Poly-Tetra-Fluoro-Ethylene）は低誘電率，化学的に安定など優れた特性があり，多くの分野で有要な材料として注目されている。しかし，PTFEは他材料との接着力が弱い欠点を持っている。接着力向上法として，窒素中での高E/n(E：電界，n：粒子密度)放電処理法に着目した。照射されるイオンを制御するとPTFEの表面エネルギーが変化するので，イオンエネルギー分布が重要であると判断した。そこで，本研究では高E/n放電空間中での陰極付近のイオンエネルギー分布を実験的に算出することを目的とする。 その結果，検出された最大エネルギーは170eV程度であり，通常の低気圧中での放電と比べ高いエネルギーのイオンが多く存在することが実験的に確認された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 840 Kバイト