噴流型大気圧グロープラズマによるITO薄膜の抵抗率低減へ向けた実験的検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-076

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Experimental Discussion for Lowering of ITO Thin Film’s Resistivity by Gas-stream Type Atmospheric Pressure Glow Plasma

著者名: 稲塚隆太 (東海大学),大山龍一郎 (東海大学)

著者名(英語): Ryuta Inazuka(Tokai University),Ryu-ichiro Ohyama(Tokai University)

キーワード: 大気圧グロープラズマ|ITO|抵抗率|表面処理

要約(日本語): 本研究では大気圧下でグロー状放電を生成する噴流型大気圧グロープラズマ発生装置の開発と，その応用に関する研究を行なっている。本報では，ディップコーティング法によりITO薄膜を作製し，その表面へプラズマ照射を行なうことで，膜抵抗率の低減を試みた。本報では，SEMによる膜の断面と表面の観察，四探針法による抵抗値について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,157 Kバイト