CF4/希ガス混合気体を用いた大気圧誘電体バリア放電における発光特性とCF4分解特性の関係

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-107

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Relation between optical emission and CF4 decomposition in atmospheric pressure dielectric barrier discharges in CF4/noble gas mixtures

著者名: 井出 存(首都大学東京),出原 慎(首都大学東京),白井 直機(首都大学東京),内田 諭(首都大学東京),杤久保文嘉 (首都大学東京)

著者名(英語): Tamotsu Ide(Tokyo Metropolitan University),Makoto Idehara(Tokyo Metropolitan University),Naoki Shirai(Tokyo Metropolitan University),Satoshi Uchida(Tokyo Metropolitan University),Fumiyoshi Tochikubo(Tokyo Metropolitan University)

キーワード: 誘電体バリア放電|非熱平衡大気圧プラズマ|CF4分解|発光分光

要約(日本語): プラズマを用いたCF4分解に関しては，2000年以降，数多く報告されている。各種のプラズマを用いたCF4他のPFCs分解の研究は多いが，そのときのプラズマ自体に着目した研究は少ない。我々は、CF4と希ガス混合気体を用いた誘電体バリア放電において、希ガスの種類や印加電圧の周波数による放電特性について報告している。本報告では，放電からの発光特性を注視し，ガス流れ方向の各種発光の空間分布を計測した。また，ガスクロマトグラフを用いてCF4分解を計測し、発光特性との相関について検討を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,229 Kバイト