オゾナイザのオゾン生成特性と電極表面の解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-115

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Characteristic of Ozone Generation in Ozonizer and analysis of the electrode surface

著者名: 川越 龍蔵(千葉工業大学),鈴木 進(千葉工業大学),伊藤 晴雄(千葉工業大学),田口 正樹(メタウォーター)

著者名(英語): Ryuzo Kawagoe(Chiba Institute of Technology),Susumu Suzuki(Chiba Institute of Technology),Haruo Itoh(Chiba Institute of Technology),Masaki Taguchi(Metawater Co.,Ltd.)

キーワード: オゾナイザ|オゾン|オージェ電子

要約(日本語): オゾンの利用は水処理や半導体プロセスなどから，近年医療分野への適用も進んでいる。これに伴い高純度，高濃度のオゾンを生成するオゾナイザの開発が要望されている。その原料には高純度酸素を用いることから，このような場合，オゾナイザの運転時間と共にオゾン濃度が0付近まで低下する現象がしばしば観測される。これを著者らは｢オゾンゼロ現象｣と呼び検討してきた。又，オゾンゼロ現象と共に，オゾン濃度が回復することもあり，これら一因の現象の原因として電極表面変化に注目し，オージェ電子分光法により表面解析を行った。その結果，オゾン濃度回復をもたらす1つの要因としてCrが関わっているのではないかと考えている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 858 Kバイト