薄膜型サーマルコンバータの安定性の改善と低周波特性の評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-122

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Improvement of stability and low-frequency characterization in thin film multi-junction thermal converters

著者名: 天谷 康孝(産業技術総合研究所),藤木 弘之(産業技術総合研究所),佐々木 仁(産業技術総合研究所),中村 安宏(産業技術総合研究所),清水目 浩司(ニッコーム),岸野 要(ニッコーム),日高 滋(ニッコーム)

著者名(英語): Yasutaka Amagai(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Hiroyuki Fujiki(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Hitoshi Sasaki(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Yasuhiro Nakamura(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Kouji Shimizume(Nikkohm Co. Ltd.),Kaname Kishino(Nikkohm Co. Ltd.),Shigeru Hidaka(Nikkohm Co. Ltd.)

キーワード: 薄膜型サーマルコンバータ|交流電圧標準|AC-DC差|安定性|低周波特性

要約(日本語): 　薄膜型サーマルコンバータのサーモパイル出力抵抗の経年変化を抑制するため，サーモパイルパターンを改善した薄膜型サーマルコンバータを作製し，経年変化および低周波特性の評価を行った．AC-DC差の経年変化は2.6 ppm/年であった．また，周波数範囲10 Hzから100 kHzにおけるAC-DC差は9.0 ppm 以下であった．低周波特性について今後改良の余地があるものの，実用的な使用条件を満足する性能を得ることができた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,795 Kバイト