自己結合型半導体センサを用いた微小変位システム

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-135

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Micro displacement system using self-coupling effect semiconductor sensor

著者名: 山田 浩之(愛知工業大学),山田 諄(愛知工業大学),津田 紀生(愛知工業大学),名和 靖彦(愛知工科大学)

著者名(英語): Hiroyuki,Yamada|Jun,Yamada|Norio,Tuda|Yasuhiko,Nawa

キーワード: 半導体レーザ|自己結合効果|微小変位センサ

要約(日本語): 現在、様々なナノ構築物が作られるようになってきている。その為、近い将来に大量生産されるようになるとナノオーダーの分解能を持ち動作範囲が広く、小型な非接触式微小変位センサが生産現場で必要になってくる。本研究では半導体レーザの自己結合効果を用いることで共振条件を満たす1/2波長の分解能で測定する。さらにセンサ部を可動できる構造にして、微小振動を加えて振動出力が最大になるようにセンサ部の移動量を制御して、この移動量から1/2波長以下の変位を測定する。手動での測定結果として数十nmの分解能で測定することができた。マイコンを用いてセンサ部の移動量を自動制御し、測定精度の向上を目指す。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,171 Kバイト