回折モアレ光を用いた微小角度変位センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-136

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Angle displacement using diffraction moire

著者名: 樋口 智哉(愛知工業大学),内田 敬久(愛知工業大学)

著者名(英語): Tomoya Higuchi(Aichi Institute of Technology),Yoshihisa Uchida(Aichi Institute of Technology)

キーワード: 角度センサ|モアレ|干渉法|アライメント|位置決め

要約(日本語): 本研究では回折モアレ光を用いた微小角度変位センサを開発した．センサ部は光源である半導体レーザ，1組の回折格子対，フォトディテクタによって構成されている．回折モアレ光の光強度は2枚の回折格子の相対角度変位に依存し周期的に変化するため，この特性を角度変位計測に用いる．また，レーザを用いることで非接触計測が可能であり，あらかじめワークと基準面に格子マークを取り付けることで，ワークと基準面との相対角度変位を検出することができる．本論文では，理論式を用いてシミュレーションを行ない，P=10μmのとき，理論分解能2.2×10－5 radという結果が得られた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,583 Kバイト