シリコンマイクロミラーを応用した静電気可視化システムの高感度化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-143

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): High Sensitivity MEMS Micro-mirror Electrostatic Distribution Measurement

著者名: 青井 利一(近畿大学),栗山 敏秀(近畿大学),前田 裕司(和歌山県工業技術センター),伊東隆喜 (和歌山県工業技術センター),上野 吉史(和歌山県工業技術センター),中家 利幸(阪和電子工業),松井 信近(阪和電子工業),奥村 浩行(阪和電子工業)

著者名(英語): Toshikazu,Aoi|Toshihide,Kuriyama|Hiroshi,Maeda|Takaki,Itoh|Yoshifumi,Ueno|Toshiyuki,Nakaie|Nobutika,Matsui|Hiroyuki,Okumura

キーワード: 静電気

要約(日本語): 帯電物体の静電気分布を測定する方法として、複数のシリコン製トーション・ミラーをアレイ状に配置し、そのミラー面の半分に電圧が印加されるようにすることにより、静電気によるそれぞれの捻じれ角から帯電物体の静電気分布を測定することができる。この時、電圧によりトーションバーが捻れる角度φは、測定対象の電圧の２乗に比例することから、低電圧では小さな捻じれしか発生せず感度が低いという課題があった。低電圧での測定にも対応するため対物レンズを用いた感度拡大用光学系を作りPSDの出力が拡大(10倍)されているか確かめた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,745 Kバイト