大気圧パルス・マイクロ放電における電源電圧の低減化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-184

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Reduction of applied voltages in an atmospheric pulsed-microdischarge

著者名: 鈴木 雄太(東京工業大学),武藤 貴昭(東京工業大学),吉田 直晃(東京工業大学),菊地 淳(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Yuta Suzuki(Tokyo Institute of Technology),Takaaki Muto(Tokyo Institute of Technology),Naoaki Yoshida(Tokyo Institute of Technology),Jun Kikuchi(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Syozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロプラズマ|高電圧パルス|予備電離

要約(日本語): 大気圧パルス・マイクロ放電は微小電極間にHeガス流を導入し、パルス電圧を印加することにより得られる。これは、大電力の注入が可能、放電を制御できるパラメータが多い、グローからアークへの遷移の抑制が容易、などの特徴があり、微細加工、新物質の生成、環境、医療分野などさまざまな応用が考えられている。一方、この放電には3 ～ 5 kVの高電圧パルスが必要であることから、パルス高電圧電源に電力用半導体デバイスを適用すること、小型化することを実現するうえで技術的課題がある。そこで、本研究では、予備的な放電として小電流の直流放電を加えて、放電開始電圧を低減する方法を提案した。その結果、放電開始電圧を1.0～2.5 kV程度まで低減した。また、予備放電電流の増加に伴い放電開始電圧が低減し、予備放電による効果が明らかとなった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 806 Kバイト