高周波低圧プラズマCVDにおける発光分光計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-199

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Opteical Emission Spectroscopy Measurement of High-frequency Low-pressure at Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition

著者名: 湯地敏史 (宮崎大学),清田佑一 (宮崎大学),川野 美延(宮崎大学),中林 健一(宮崎大学),田代 真一(大阪大学),田中 学(大阪大学),赤塚 洋(東京工業大学)

著者名(英語): Yuichi Kiyota(Univeraity of Miyazaki),Toshifumi Yuji(Univeraity of Miyazaki),Minobu Kawano(Univeraity of Miyazaki),Kenichi Nakabayashi(Univeraity of Miyazaki),Shinichi Tashiro(Osaka University),Manabu Tanaka(Osaka University),Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 発光分光計測|プラズマCVD|Ar+N2混合ガス|太陽電池|低圧

要約(日本語): あああ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 820 Kバイト