大面積ダイヤモンドライクカーボン成膜に向けた大気圧線状パルス放電プラズマの特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-203

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Characteristics of line pulsed discharge plasma at atmospheric pressure for preparation of diamond-like carbon films

著者名: 福井 経太(兵庫県立大学),宮前 公準(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),松尾 吉晃(兵庫県立大学),堀口 恭光(栗田製作所),西村 芳実(栗田製作所),永田 正義(兵庫県立大学),八束充保 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Keita Fukui(University of Hyogo),Masanori Miyamae(University of Hyogo),Yusuke Kikuchi(University of Hyogo),Yoshiaki Matuo(University of Hyogo),Yasumitsu Horiguchi(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Yoshimi Nishimura(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Masayoshi Nagata(University of Hyogo),Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)

キーワード: 大気圧プラズマ|DLC

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（DLC）は高硬度，高絶縁性等の特徴を有しており，DLC膜は表面処理として強いニーズがある。これまでに低気圧放電プラズマを用いたDLC成膜装置は実用化されているが，真空排気系を必要とするため装置コストが高く，対象物のサイズは真空容器により制限される課題もある。本研究では大面積・高速DLC成膜実験を目的として、大気圧線状放電プラズマ装置の開発と成膜実験を行ったので、それらの結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 804 Kバイト