リモートマイクロプラズマ処理によるPENフィルム表面改質の研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-205

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Study on Surface treatment of PEN Films by Remote Microplasma

著者名: 清水 一男(静岡大学)

著者名(英語): Kazuo Shimizu(Innovation and joint reacearch center)

キーワード: マイクロプラズマ|表面改質

要約(日本語): 近年、高分子や金属等の表面処理を目的とした大気圧プラズマを用いた表面改質技術の研究が進められている。従来の大気圧プロセスによる表面改質処理はコロナ放電処理、プラズマジェットなどが研究されているが、一般的にプラズマ生成及び、その駆動電圧が10-15 kV程度と高く、プラズマによる被処理物表面での温度による影響、帯電などが問題となっている。これらを改善するためプラズマを直接対象物に照射せず、プラズマによって生成された各種活性種を用いて表面改質を行うリモート表面改質の研究が進められている。本研究では試作したパルスパワー電源を用いて約1 kVという低電圧で大気圧マイクロプラズマを発生させ、マイクロプラズマによって生成された各種活性種を用いてPEN(poly ethylene naphthalate)フィルムの表面改質を試みたので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,095 Kバイト