微細液体流を用いた高周波グロー・マイクロ放電とその特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-209

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Characterization of RF Glow Discharge along Miniature Liquid Flow

著者名: 金丸 誠(東京工業大学),龍村 直(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Makoto Kanemaru(Tokyo Institute of Technology),Nao Tatsumura(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: グロー・マイクロ放電|微細液体流|高周波電圧|発光スペクトル|ヘリウムガス

要約(日本語): 微細なガス流を用いた直流放電により、金属電極および液体電極を用いて大気圧グロー・マイクロ放電を安定にできる。本論文では、液体の体積に比べて放電と接する面積の割合を大きくするために、微細な液体流を利用する新しい方法を示す。これは液体とプラズマとの界面の増加により、高効率なプラズマ反応プロセスが実現できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,173 Kバイト