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微細液体流を用いた大気圧マイクロ放電の生成とその制御
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カテゴリ: 全国大会
論文No: 1-210
グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集
発行日: 2011/03/05
タイトル(英語): Generation and control of atmospheric microdischarge along a miniature liquid flow
著者名: 龍村 直(東京工業大学),金丸 誠(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)
著者名(英語): Nao Tatsumura(Tokyo Institute of Technology),Makoto Kanemaru(Tokyo Institute of Technology),shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)
キーワード: プラズマ
要約(日本語): 石英管内に微細な液体流とその周りにHeガス流を流し放電を生成することで、軸対称で単純な構造のマイクロプラズマが液体と広い面積で接触する新しい方式を検討する。本論文では、電極は銅テープを用い誘導結合によって放電を生成する方式を用いた。放電は液体流を取り囲むように安定に生成された。また小型分光器により発光スペクトル分布の測定を行ったところ、ガス流のみの場合に比べ、液体流とガス流を流した場合ではOHのスペクトル線とHeIのスペクトル線の強度比OH/HeIが2倍以上の増加がみられた。これより、液体流とプラズマの相互作用によりOH種が生成されていることがわかった。
原稿種別: 日本語
PDFファイルサイズ: 606 Kバイト
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