NLDプラズマの解析(XI)－RF電界・反平行傾斜磁界下の電子束整流性－

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-213

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Analysis of NLD Plasma (XI) ? Rectification of electron flux under rf electric field and antiparallel gradient magnetic fields ?

著者名: 菅原 広剛(北海道大学),山本 寛容(北海道大学),大佐賀 毅(北海道大学)

著者名(英語): Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Hiromori Yamamoto(Hokkaido University),Tsuyoshi Osaga(Hokkaido University)

キーワード: NLDプラズマ|磁界|rf電界|電子束|整流

要約(日本語): 半導体集積回路製造工程でエッチングなどに用いられるNLD（Neutral Loop Discharge）プラズマにおける電子伝導の基礎として、２極反平行傾斜磁界中、rf電界の下での電子運動を解析した。２極反平行傾斜磁界には整流効果があり、磁気中性面からの距離に応じて電子束の方向が決まる。予想に反し、強磁界下における電子束の方向は∇Ｂドリフトの方向とは逆となるが、このことは電子の旋回運動と空間分布の勾配から説明することができた。電子束の向きが位置依存となり構造を持つことは、NLDプラズマを等価回路モデルで解析する場合などに有用な知見となろう。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 967 Kバイト