ＮＬＤプラズマの解析(XII)－分界線制御時のカップリング維持－

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-214

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Analysis of NLD Plasma (XII) ? Retainment of coupling between NLD plasma and RF antenna in control of separatrix -

著者名: 吉田 拓平(北海道大学),櫻井 洋平(北海道大学),大佐賀 毅(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),村山 明宏(北海道大学)

著者名(英語): Takuhei Yoshida(Hokkaido Univerisity),Yohei Sakurai(Hokkaido Univerisity),Tsuyoshi Osaga(Hokkaido Univerisity),Hirotake Sugawara(Hokkaido Univerisity),Akihiro Murayama(Hokkaido Univerisity)

キーワード: NLDプラズマ|磁界|エッチング|イオン|誘導電界

要約(日本語): 磁気的中性線放電（NLD）プラズマに３つのコイルにより印加する磁界の制御をシミュレートした。ウエハへの均一なエッチャントイオン供給に適する条件は、NLDプラズマがRFアンテナとカップリングを保ちつつ、イオンを導く分界線の足が容器底部のウエハを掃引することである。上部と下部のコイルの電流を同時に制御することで電子へのエネルギー供給が起こる磁気的中性線（NL）はアンテナの近傍を移動し、カップリングが保たれた。また、RFアンテナを並列化することによりNLが移動する範囲での電界強度変化を抑制することができた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 879 Kバイト