NLDプラズマの解析(XIII)－空間電荷ポテンシャルの影響－

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-215

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Analysis of NLD Plasma (XIII) -Influence of Space Charge Potential-

著者名: 櫻井 洋平(北海道大学),大佐賀 毅(北海道大学),吉田 拓平(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),村山 明宏(北海道大学)

著者名(英語): Yohei Sakurai(Hokkaido University),Tsuyoshi Osaga(Hokkaido University),Takuhei Yoshida(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Akihiro Murayama(Hokkaido University)

キーワード: NLDプラズマ|モンテカルロ法|空間電荷ポテンシャル|四重極磁界|分解線

要約(日本語): NLDプラズマはmTorrオーダの駆動が可能な誘導結合型プロセスプラズマの一種で、3つの直流コイルの静磁界の重畳により容器中にできる環状無磁界領域に沿って生成される。容器内の電子とイオンが形成する空間電荷ポテンシャルを電子の軌道計算に取り入れ、その影響について考察した。追跡電子に数の重みを与え、ポアソンの式をSOR法により解きポテンシャルを求めた。ポテンシャルはNL付近では正値となり分界線の脇では負値となる。よって電子がNLへ引き込まれる方向に空間電荷電界が働き、電離は促進される。また電子が境界へ達する機会は減少するため、電子反射率を実効的に大きく扱ったのと同等の効果を持つと思われる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 823 Kバイト