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パルス変調誘導熱プラズマを用いた金属表面の浸炭処理の検討

パルス変調誘導熱プラズマを用いた金属表面の浸炭処理の検討

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カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-227

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Trial Application of Pulse Modulated Induction Thermal Plasmas to Surface Carburization

著者名: 春多洋佑 (金沢大学),藤本 健太(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Yosuke Haruta(Kanazawa University),Kenta Fujimoto(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 熱プラズマ|パルス変調熱プラズマ|表面改質|浸炭処理|XRD分析

要約(日本語): これまで研究室では,パルス変調誘導熱プラズマ(PMITP)を用いてTi表面の窒化処理をおこなってきた。PMITPを用いた場合,定常の熱プラズマを用いる場合と比べて試料への熱流束を減少させ, 温度をなるべく低下させた状態で表面処理ができる。今回PMITPを用いた表面改質の新たな試みとして反応ガスにCH4を用いた浸炭処理実験をおこなった。実験結果から, コイル電流変調を大きくするほど試料表面温度が下がることが分かった。また,XRDを用いた表面分析からもTiCのピークが大きくなることを確認した。以上から,浸炭処理にPMITPを用いた場合においても試料表面への熱的ダメージを抑え,浸炭促進させる効果があると考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,430 Kバイト

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