表面酸化が極薄PENフィルムの伝導電流に与える影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-013

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Influence of Surface Oxidization on Conduction Current of Extremely Thin PEN Film

著者名: 鳥本慎也 (豊橋技術科学大学),高橋 慎吾(豊橋技術科学大学),村上 義信(豊橋技術科学大学),栗本 宗明(豊橋技術科学大学),長尾 雅行(豊橋技術科学大学),吉田 哲男(帝人デュポンフィルム)

著者名(英語): Shinya Torimoto(Toyohashi University of Technology),Shingo Takahashi(Toyohashi University of Technology),Yoshinobu Murakami(Toyohashi University of Technology),Muneaki Kurimoto(Toyohashi University of Technology),Masayuki Nagao(Toyohashi University of Technology),Tetsuo Yoshida(Teijin DuPont Films Japan Limited)

キーワード: ポリエチレンナフタレート|極薄高分子フィルム|伝導電流|酸化|X線光電子分光法

要約(日本語): ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルムは、優れた熱的特性、電気的特性を持ち、電気機器の小型化に伴うフィルムそのものの薄膜化の要求を満たすことのできる絶縁材料の一つである。しかし、薄膜フィルムの電気的特性を、IECのような標準規格電極で正確に評価することは一般的に困難である。そこで、筆者らは薄膜フィルムにおいてもほぼ正確に絶縁破壊の強さや伝導電流を測定できる電極系の開発を進めて来た。本研究では、試料の表面酸化がPENフィルムの伝導電流に与える影響を調査した。試料にAl蒸着を施し、数日間大気中にて放置させた場合、蒸着金属またはフィルム表面に生じた酸化を確認することができた。また、酸化が進行している試料のほうが、伝導電流値が小さくなるという結果が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,620 Kバイト