水素アシストICP法によるダイヤモンド状炭素の成膜

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-081

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Synthesis of Diamond Like Carbon by Hydrogen Assist Inductively Coupled Plasma

著者名: 當麻誠仁 (日本大学),磐瀬 暢 (日本大学),胡桃 聡 (日本大学),鈴木 薫 (日本大学)

キーワード: ダイヤモンド状炭素|誘導結合プラズマ|水素

要約(日本語): 現在、化石燃料の大量消費による地球温暖化が懸念されている。そこでダイヤモンド状炭素（Diamond like Carbon : DLC）太陽電池の成膜を試みた。DLCは耐摩耗性、高硬度、耐食性、低コスト、光学的高透過性と優れた特性を持ち、sp²、sp³混成軌道のアモルファス構造になっているため、成膜方法や条件によってsp²、sp³混成軌道の割合を調整できるため、現在も用途拡大が活発になされている。我々は、プラズマのエネルギー密度が高い誘導結合プラズマ（Inductively Coupled Plasma : ICP）を用いることにより、イオン化を促進してDLCの成膜を試みた。本稿では、水素の流量と基板電圧を変えることにより、sp²、sp³混成軌道の割合を制御し、DLC薄膜の光学的・電気的特性を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,135 Kバイト