PLD法によるAlドープDLC太陽電池薄膜の成膜

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-083

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Al-Doped Diamond Like Carbon as Photovoltaic cell by Pulsed Laser Deposition

著者名: 米川 栄(日本大学),高山 健(日本大学),胡桃 聡(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Sakae Yonekawa(Nihon University),Ken Takayama(Nihon University),Satosi Kurumi(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)

キーワード: 太陽電池|DLC|半導体|PLD法

要約(日本語): 我々はダイヤモンドライクカーボン（Diamond Like Carbon : DLC）の太陽電池への応用について研究している。DLCはダイヤモンド構造とグラファイト構造が不規則に結合しており、一般的に紫外光領域の光を吸収する。DLCのバンドギャップはこれらのsp2 : sp3比また不純物をドープすることによりバンドギャップを変化することができる。従って紫外光領域から可視光領域のバンドギャップを可変することができ、高効率に光を吸収することができる。今回の研究はⅣ族であるDLCにⅢ族であるAlを加えたp-DLC : AlをPulsed Laser Deposition: PLD法により成膜することである。Alドープによる抵抗率の低下を計り、バンドギャップの変化とDLCの膜質について実験的に検討する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 883 Kバイト