FIBによるDLC薄膜の電気伝導制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-084

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Electrical conduction Control of Diamond Like carbon Thin Flms by Focused Ion Beam

著者名: 田村 拓(日本大学),金子 貴慶(日本大学),胡桃 聡(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Taku Tamura(Nihon University),Takamichi Kaneko(Nihon University),Satosi Kurumi(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)

キーワード: 集束イオンビーム装置|ダイヤモンド状炭素|イオン注入

要約(日本語): 集束イオンビーム装置（Focused Ion Beam: FIB）はナノスケールでのエッチング、マスクレスでのイオン注入などが可能である。我々はFIBのイオン注入に着目し、絶縁物の電気伝導性の制御を試みた。本研究では機械的特性、化学的安定性に優れ、高硬度、耐摩耗性などといった特性を持つダイヤモンド状炭素（Diamond Like Carbon: DLC）を使用した。また、DLCはGaやBといったⅢ族やⅤ族の不純物をドープすることにより電気伝導性を示すため,太陽電池などといったデバイスの作製に有効である。本研究では絶縁性を示す真性DLC（i-DLC）薄膜にFIBを用いてGa^＋イオンビームを試料表面に照射し、Ga^＋イオンを注入することによる電気伝導性の変化について実験的に検証した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,133 Kバイト