FET型NO2センサのためのマイクロヒータの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-107

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Study on Micro Heater for NO2 Sensor Using Field Effect Transistor

著者名: 塚村 慶子(広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),縄稚 典生(広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),伊藤幸一 (広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),本多 正英(広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),山本 晃(広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),島ノ江憲剛 (九州大学)

著者名(英語): Keiko Tsukamura(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Norio Nawachi(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Koichi Itoh(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Masahide Honda(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Akira Yamamoto(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Kengo Shimanoe(Kyushu University)

キーワード: NO2センサ|FET|マイクロヒータ

要約(日本語): FET（Field Effect Transistor）と固体電解質を組み合わせた高感度なガスセンサの開発を目的に，固体電解質の活性化に必要不可欠なマイクロヒータの作製を行った。基材は，温度上昇の違いを調べるため，シリコン（Si），パイレックスガラスの２種類用いた。また，ヒータ材質には，測温抵抗体としても知られ，経時変化の少ない白金（Pt）を採用し，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術のリフトオフ法により，平面コイル形状のヒータを作製した。作製したマイクロヒータの特性を評価したところ，基板にパイレックスガラスを使用したマイクロヒータは，Si基板上のヒータと比べ，局所的かつ短時間で昇温することがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 845 Kバイト